AOI視覺檢測設備

  ZX900 AOI視覺檢測設備

?  一款多角度自動AOI系統檢測設備。適用于：半導體先進封裝工藝的產品視覺檢測設備。

? 檢測能力：殘膠、RDL短/斷路、Bump變形受損；PI變色、各類金屬殘留、滲鍍、來料異常、晶圓

  表面劃傷外來物識別等。

?  表面檢測圖形晶圓表面檢測(AOI) ；檢測亞微米量級的二維圖形缺陷。

? 支持晶圓尺寸：兼容200mm/300mm（支持±2.5mm翹曲片）

? 分辨率0.45um – 9um。